国家/地区 美国(9) 韩国(5) 世界知识产权组织(5) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(4) 日本(4)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9) H01(9) B82(3)
G01(3) H05(3)
IPC小类 C01B(9)
IPC H01L051/00(9)
发明人 KIM S H(2)
公开年 2015(5) 2014(3)
申请年 2014(9)
专利权人

SHIN H, BYUN K, SONG H, PARK S, SEO D, WOO Y, LEE D, LEE J, CHUNG H, HEO J, YOO I, SHIN H J, BYUN K E, SONG H J, PARK S J, WOO Y S, LEE D W, LEE J H, CHUNG H J, HEO J S, YOO I K, JIN S H, EUN B G, JAE S H, JUN P S, SEOK S H, SEONG W Y, GYEONG Y I, UK L D, HO L J, JONG J H, SEONG H J, HUI D, HUH J, YEO R, JUNG H