国家/地区 美国(31) 中国(23) 韩国(18) 世界知识产权组织(18) 日本(13) 欧洲专利局(EPO)(11) 台湾(5) 加拿大(3) 澳大利亚(2) 巴西(2) 印度(2) 墨西哥(2) 土耳其(2)
IPC部 B(38)
IPC大类 C01(38)
IPC小类 C01B(38)
IPC C23C016/44(38)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4) CHOI J(3)
LEE Y(3) LI J(3) CHOI J Y(2)
HAN G(2) LEE S(2) SEO S(2)
SEO S A(2) SHIN H(2) WANG Y(2)
公开年 2021(6) 2011(5) 2013(5) 2014(5) 2022(4) 2012(3) 2015(3) 2018(3) 2017(2)
申请年 2013(6)  2012(5)  2010(4)  2020(4)  2021(4)  2011(3)  2014(2)  2015(2)  2016(2)  2017(2)  2022(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5) SAMSUNG ELEC.(4) UNIV SUNGKYU.(2)