国家/地区 中国(6) 美国(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 台湾(3) 德国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B032/16(9)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2014(4)  2021(2) 
专利权人 AIXTRON SE(2)