国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(5) 美国(5) 世界知识产权组织(5) 中国(4) 日本(3) 韩国(2) 新加坡(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(4) |
申请年 |
2013(6)![]() |
专利权人 |
BORRELLI N F, FEKETY C R, LIU X, SONG Z
SHARMA S, TANEMURA M, UMENO M, KALITA G
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
GROBERT N, MURDOCK A T, KOOS A A