国家/地区 中国(28) 韩国(22) 美国(21) 世界知识产权组织(17) 日本(13) 欧洲专利局(EPO)(9) 台湾(7) 英国(4) 澳大利亚(3) 德国(2) 印度(2)
IPC部 C(60)
IPC大类 C01(60) C23(60) H01(23)
B01(6) B82(5) B32(3)
B05(2) B22(2) C08(2)
C22(2) C30(2)
IPC小类 C01B(60)
IPC C23C016/26(60)
发明人 WANG X(4) BYUN K(3) BYUN K E(3)
LEE C(3) LEE C S(3) LEE E(3)
LIU Z(3) SHIN H(3) SHIN H J(3)
CAO F(2) COLOSIMO N G R(2) GLASS H(2)
GUINEY I(2) HUANG S(2) IFUKU R(2)
公开年 2021(60)
申请年 2020(26)  2021(23)  2019(11) 
专利权人 BEIJING GRAP.(3) SAMSUNG ELEC.(3) TOKYO ELECTR.(3) UNIV PEKING(3)
BAE SYSTEMS .(2) DAEJOO ELECT.(2) LAM RES CORP(2) NINGBO INST .(2)
PARAGRAF LTD(2) UNIST ULSAN .(2) UNIV SINGAPO.(2)