国家/地区 台湾(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) C23(6) H01(3)
B82(2) G01(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/04(6)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(4) 2016(2)
申请年 2014(6)
专利权人 AIXTRON SE(2)