国家/地区 中国(22) 美国(12) 韩国(6) 日本(4) 世界知识产权组织(4) 欧洲专利局(EPO)(2) 台湾(2)
IPC部 C(37)
IPC大类 C01(37)
IPC小类 C01B(37)
IPC C23C016/26(19) C01B032/186(16) C01B032/194(12)
C01B032/184(10) C01B032/182(5) C23C014/18(5)
B82Y040/00(4) C01B032/198(4) C23C014/06(4)
C23C014/35(4) C23C016/02(4) C23C016/56(4)
H01L029/16(4) B82Y030/00(3) C23C016/34(3)
发明人 LI Y(5) GAO C(3) LIN Y(3)
LIU Y(3) WANG F(3) CHO K(2)
CHU K(2) DONG Y(2) GUO Y(2)
HUANG D(2) JANG B Z(2) LEE S(2)
LI L(2) LI X(2) PARK J(2)
公开年 2018(21) 2019(10) 2020(6)
申请年 2018(37)
专利权人 UNIV ZHEJIAN.(3) HANGZHOU GAO.(2) KOREA INST S.(2) NANOTEK INST.(2)
SIZU TECHNO .(2) UNIV LANZHOU.(2)