国家/地区 德国(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B031/04(11)
发明人 JOUVRAY A(2) MAAROUF A(2) MARTYNA G J(2)
TEO K B K(2)
公开年 2013(7)
申请年 2011(4)  2013(3)  2014(2) 
专利权人 INT BUSINESS.(4) AIXTRON SE(2) MAAROUF A(2) MARTYNA G J(2)