国家/地区 美国(5) 韩国(4) 中国(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C014/06(8)
发明人
公开年 2017(8)
申请年 2016(5)  2015(3) 
专利权人