国家/地区 欧洲专利局(EPO)(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C23C014/06(10)
发明人
公开年 2015(5)
申请年 2014(4) 
专利权人

KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H