国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(10)![]() |
IPC部 |
C(10)![]() |
IPC大类 |
C01(10)![]() |
IPC小类 |
C01B(10)![]() |
IPC |
C23C014/06(10)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(5) |
申请年 | 2014(4) |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
KIM D, CHOI S, HYEON T, KIM S, CHO H, CHO K, HONG C S, HWAN H T, HYEONG K D, JU K S, RIM C H, WON C G
FORTE G, FIORENZA P, PEZZULLO G
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K
DURAN H C, KARAHASANOGLU C, YUECEL M, YUCEL M
KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M
HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H