国家/地区 | 美国(8) 世界知识产权组织(8) 中国(7) 日本(5) 韩国(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 英国(2) 新加坡(2) 台湾(2) |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)![]() |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/02(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(5) 2015(2) |
申请年 |
2013(8)![]() |
专利权人 |
WANG W, GUO S, OZKAN C S, OZKAN M
BORRELLI N F, FEKETY C R, LIU X, SONG Z
MOON J, RHO J, PARK S, KIM T, HONG B, PARK W, JUNG M, KIM T H, ROH J
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
KINLOCH I, LEWIS A, KING M, LEVIS A
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G