国家/地区 美国(8) 中国(3) 韩国(3) 日本(2) 台湾(2)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C016/02(11)
发明人 LEE S J(2)
公开年 2016(11)
申请年 2016(6)  2015(4) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)