国家/地区 | 美国(9) 韩国(7) 中国(5) 日本(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 加拿大(2) |
IPC部 |
C(12)![]() |
IPC大类 |
C01(12)![]() |
IPC小类 |
C01B(12)![]() |
IPC |
C23C016/44(12)![]() |
发明人 | NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) |
公开年 |
2021(12)![]() |
申请年 | 2020(5) 2021(5) 2019(2) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) UNIV SINGAPO.(2) |
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B
MAKOTO W, TAKASHI M, NOBUTAKE K, RYOTA I, MASAHITO S, HIROKAZU U, MATSUMOTO T, KABURAGI N, IFUKU R, SUGIURA M, UEDA H, WADA M, KABUKI N
CHOI H Y, PARK J W, EUGENE L, DOH C H, BAE Y