国家/地区 美国(9) 韩国(7) 中国(5) 日本(5) 世界知识产权组织(5) 欧洲专利局(EPO)(4) 加拿大(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/44(12)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(12)
申请年 2020(5)  2021(5)  2019(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4) UNIV SINGAPO.(2)