国家/地区 日本(2) 美国(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/56(7)
发明人 SHIN H(2) UMENO M(2)
公开年 2020(7)
申请年 2020(3)  2018(2)  2019(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2) SIZU TECHNO .(2)