国家/地区 德国(24)
IPC部 C(24)
IPC大类 C01(24)
IPC小类 C01B(24)
IPC C23C016/26(12) C01B031/04(11) B82Y030/00(10)
B82Y040/00(10) C01B031/02(9) C01B032/186(9)
C01B032/182(6) B32B009/00(5) C23C016/04(5)
C23C016/455(5) C23C016/56(5) C23C026/00(5)
C01B032/194(4) H01B013/00(4) H01L021/02(4)
发明人 TEO K B K(3) THOMAS S(3) GUINEY I(2)
JOUVRAY A(2) MAAROUF A(2) MARTENS R I(2)
MARTYNA G J(2) SHIMIZU T(2)
公开年 2013(8) 2021(3) 2022(3) 2016(2) 2018(2)
申请年 2011(4)  2013(4)  2014(3)  2021(3)  2017(2)  2020(2)  2022(2) 
专利权人 INT BUSINESS.(4) AIXTRON SE(3) MAAROUF A(2) MARTYNA G J(2)
PARAGRAF LTD(2) TE CONNECTIV.(2) TYCO ELECTRO.(2) YAZAKI CORP(2)