国家/地区 台湾(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(4) C01B032/184(3) C01B032/186(3)
C23C016/56(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C23C014/06(2) C23C016/02(2) H01L021/02(2)
发明人 GLASS H(2) GUINEY I(2) THOMAS S(2)
TYLER M(2) WALLIS R(2)
公开年 2021(6)
申请年 2020(6)
专利权人 PARAGRAF LTD(2)