国家/地区 美国(20) 中国(14) 日本(13) 世界知识产权组织(13) 韩国(9) 欧洲专利局(EPO)(7) 台湾(7)
IPC部 B(30)
IPC大类 C01(30)
IPC小类 C01B(30)
IPC C23C014/06(30)
发明人 HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2)
YU C(2)
公开年 2016(5) 2013(4) 2015(4) 2021(4) 2012(3) 2018(3) 2010(2) 2022(2)
申请年 2014(4)  2015(4)  2011(3)  2012(3)  2013(3)  2009(2)  2018(2)  2019(2)  2020(2)  2021(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(2) HU S C(2) LIN I(2) SUNG C(2)
YU C(2)