国家/地区 美国(7) 中国(3) 日本(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/505(8)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2021(8)
申请年 2020(4)  2019(2)  2021(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)