国家/地区 韩国(9) 美国(8) 世界知识产权组织(6) 中国(5) 日本(2)
IPC部 B(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C016/54(11)
发明人 KI K Y(2)
公开年 2013(2) 2014(2) 2018(2) 2021(2)
申请年 2013(3)  2017(3)  2012(2) 
专利权人 HANWHA TECHW.(3) SAMSUNG TECH.(3) HANWHA AEROS.(2)