国家/地区 美国(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 世界知识产权组织(4) 中国(2) 韩国(2) 新加坡(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/56(7)
发明人
公开年 2013(7)
申请年 2011(3)  2013(3) 
专利权人