国家/地区 美国(6) 中国(4) 韩国(4)
IPC部 C(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C014/34(8)
发明人
公开年 2016(5) 2017(3)
申请年 2016(8)
专利权人