国家/地区 美国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C23C016/30(9)
发明人 LEE S(2) SEO S(2) SEO S A(2)
公开年 2015(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2011(2)  2015(2)  2016(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)