国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8) B(3) H(3)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/26(7) C01B031/04(6) C01B032/182(3)
C01B032/186(3) C01B031/02(2) C01B032/15(2)
C01B032/18(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2015(8)
申请年 2015(8)
专利权人 SHANGHAI INS.(2)