国家/地区 韩国(26)
IPC部 C(26) H(18) B(10)
G(4) A(2)
IPC大类 C01(26)
IPC小类 C01B(26)
IPC C01B031/04(17) C23C016/26(14) C01B032/182(9)
C23C016/455(8) H01L029/16(8) C01B032/194(7)
C01B032/186(6) H01L021/02(6) C23C014/06(4)
C23C014/18(4) C23C016/02(4) C23C016/56(4)
B01J019/08(3) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
发明人 KIM Y K(4) BEDWORTH P V(2) HAN S H(2)
HEISE S E(2) JANG B Z(2) KIM H K(2)
KIM Y(2) LEE S J(2) MATSUMOTO T(2)
PARK H(2) SEO J W(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2) YONG K K(2) ZHAMU A(2)
公开年 2017(26)
申请年 2016(17)  2017(5)  2015(4) 
专利权人 CHARMTRON CO.(2) JANG B Z(2) KOREA ELECTR.(2) LOCKHEED MAR.(2)
NANOTEK INST.(2) TOKYO ELECTR.(2) UNIV HANYANG.(2) ZHAMU A(2)