国家/地区 世界知识产权组织(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11) G01(6) C08(3)
B82(2) G03(2) G06(2)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B032/182(4) B82Y030/00(2) C01B032/194(2)
G01N033/543(2) G03F001/62(2)
发明人
公开年 2023(11)
申请年 2022(9)  2021(2) 
专利权人