国家/地区 中国(16)
IPC部 C(16)
IPC大类 C01(16)
IPC小类 C01B(16)
IPC C01B031/04(14) C23C016/26(11) C01B032/186(6)
C01B032/194(6) C01B032/182(5) C01B031/02(4)
C01B032/184(3) C23C014/06(3) H01L021/02(3)
B32B009/00(2) B82B003/00(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/15(2) C01B032/18(2)
发明人 JANG B Z(2) ZHAMU A(2)
公开年 2015(8) 2016(6) 2017(2)
申请年 2015(16)
专利权人 JANG B Z(2) NANOTEK INST.(2) SHANGHAI INS.(2) ZHAMU A(2)