国家/地区 欧洲专利局(EPO)(10)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10) C23(10) B82(4)
H01(3) B32(2) C04(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01B031/04(10)
发明人 JOUVRAY A(2) TEO K B K(2)
公开年 2015(8) 2016(2)
申请年 2014(10)
专利权人 AIXTRON SE(2)

KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M