国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(9)![]() |
IPC部 |
C(9)![]() |
IPC大类 |
C01(9)
C23(9)
H01(5)
B01(3) B32(2) C30(2) |
IPC小类 |
C01B(9)![]() |
IPC |
C23C016/26(9)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(9)![]() |
申请年 | 2020(5) 2021(3) |
专利权人 |
BURGGRAF J, JUERGEN B
AGRAWAL K V, HUANG S, HSU K, AGRAWAL K, HWANG S, HUSH K, XU G
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B
HAVERMANS D, SALLARD S, SHAFIQUE A, VANGENEUGDEN D, VANHULSEL A, HARDY A, SALAH S, SHAFIK A, VAN GENUGDEN D, HARDY N
SA G, CHEN L, LIANG T, DENG Y, SAGAR R U R
CHOI K, PARK H G, HEIGHT M, CHOI K J, PARK H, PIAO H