国家/地区 欧洲专利局(EPO)(11)
IPC部 C(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C01B031/04(10) C01B032/182(8) C23C016/26(8)
C01B032/186(6) C01B032/194(4) C23C016/01(3)
C23C016/44(3) H01L021/02(3) B32B009/00(2)
B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C01B032/15(2)
C01B032/18(2) C01B032/184(2) C23C014/24(2)
发明人
公开年 2015(6) 2016(5)
申请年 2015(11)
专利权人

PENNINGTON D A, CLAYTON A R, JUDA K L, PAUKNER C, KURZEPA L, COOPER R H S J, KOZIOL K K, JOAUG J Y, ST JOHN COOPER R H, ST JOHN C R H