国家/地区 世界知识产权组织(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C04(7) C01(4) H01(3)
B22(2) C09(2)
IPC小类 C04B(7)
IPC C01B032/194(3) C01B032/21(2) C04B035/10(2)
C04B035/14(2) C04B035/645(2) C04B037/02(2)
H01L023/36(2) H01L023/373(2)
发明人
公开年 2021(7)
申请年 2021(7)
专利权人 MITSUBISHI M.(2)