国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C30(8)
IPC小类 C30B(8)
IPC C30B025/18(4) H01L021/205(4) C01B031/04(3)
C30B029/02(3) H01L021/02(3) H01L021/20(3)
H01L033/00(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B031/02(2) C23C016/26(2) C30B001/02(2)
C30B025/02(2) C30B025/04(2) H01L021/36(2)
发明人 FAN S(3) WEI Y(3) CHAI Z(2)
FAN F Y(2) GI Y(2) HAN D(2)
HAO Y(2) NING J(2) WANG D(2)
YAN Y(2) ZHANG J(2)
公开年 2013(5) 2012(2)
申请年 2012(8)
专利权人 HON HAI PREC.(3) HONGFUJIN PR.(3) UNIV TSINGHU.(3) UNIV XIDIAN(3)