国家/地区 中国(15) 美国(2)
IPC部 C(19)
IPC大类 C30(19) C01(4) H01(4)
C23(3) B82(2) G01(2)
IPC小类 C30B(19)
IPC C30B029/02(6) C30B025/18(5) C30B029/06(4)
C01B032/194(3) H01L021/02(3) B82Y030/00(2)
C23C014/24(2) C30B007/10(2) C30B025/00(2)
C30B029/10(2) C30B029/16(2) C30B029/40(2)
C30B033/10(2)
发明人 ZHANG J(3) CHI K(2) GUO W(2)
LIU Y(2) WANG S(2) WANG X(2)
WANG Y(2) ZHOU X(2)
公开年 2018(11) 2020(5) 2019(2)
申请年 2018(19)
专利权人 UNIV HUAZHON.(2)