| 国家/地区 | 日本(6) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
| IPC部 | C(7) B(2) |
| IPC大类 |
C01(7)
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| IPC小类 |
C01B(7)
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| IPC |
C23C014/14(7)
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| 发明人 | KIM J(2) |
| 公开年 | 2011(2) 2017(2) |
| 申请年 | 2016(2) |
| 专利权人 |
NARUTSUKA S, NAKAJIMA R
KOHIKI M, SAKAGUCHI K
FUJITA D, XU M S, JO A
HASEGAWA MASATAKA, ISHIHARA MASATOU, KOGA YOSHINORI, KIM JAEHO, TSUGAWA KAZUO, IIJIMA SUMIO, HASEGAWA M, ISHIHARA M, KOGA Y, KIM J, TSUGAWA K, IIJIMA S, YOSHINORI K, HO K J, KAZUO T, SUMIO I, MASATAKA H, MASATOU I, JAEHO K
