国家/地区 美国(5) 中国(4) 欧洲专利局(EPO)(4) 世界知识产权组织(4) 日本(3) 韩国(3) 台湾(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) C30(6) C01(5)
H01(3) B82(2)
IPC小类 C23C(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2015(6)
申请年 2014(3)  2015(2) 
专利权人