国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C30(7)
IPC小类 C30B(7)
IPC C30B025/18(4) C30B029/02(4) C01B031/04(3)
C01B031/02(2) C01B032/182(2) C01B032/188(2)
C23C016/26(2) C30B001/02(2) H01L021/20(2)
发明人 LI L(2)
公开年 2015(7)
申请年 2015(4)  2014(3) 
专利权人