国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C30(9) H01(9) C23(3)
B82(2)
IPC小类 C30B(9)
IPC H01L021/02(5) C30B025/18(4) C30B029/38(3)
H01L033/00(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C23C016/34(2) C30B029/02(2) C30B033/02(2)
H01L021/20(2) H01L029/16(2) H01L031/0304(2)
H01L031/0352(2) H01L031/18(2) H01L033/06(2)
发明人 FIMLAND B M(2) LI C(2) MUNSHI M(2)
WEMAN H(2)
公开年 2021(5) 2020(4)
申请年 2020(9)
专利权人 CRAYONANO AS(2)