国家/地区 中国(5) 美国(3)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C30B(7)
IPC C23C016/26(4) C30B029/02(4) C23C016/54(3)
C30B025/00(3) C30B029/64(3) B82Y040/00(2)
C23C016/02(2) C30B025/02(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 DUAN Y(2) HUANG D(2) LI X(2)
LI Z(2) SHI H(2) WU J(2)
YU J(2) ZHANG Y(2)
公开年 2018(5) 2017(2)
申请年 2017(7)
专利权人 CHONGQING GR.(2) UNIV PEKING(2)