国家/地区 中国(13) 美国(9) 日本(5) 世界知识产权组织(5) 韩国(3) 台湾(3)
IPC部 C(19)
IPC大类 C23(19)
IPC小类 C30B(19)
IPC C23C016/26(14) C30B029/02(9) C01B031/02(8)
C30B025/18(8) B82Y040/00(7) B82Y030/00(6)
C01B031/04(6) C01B032/186(4) C30B025/02(3)
H01L021/02(3) H01L021/205(3) H01L029/16(3)
C01B032/194(2) C23C016/02(2) C30B025/00(2)
发明人 DENG P(4) GUO H(4) LEI T(4)
ZHANG K(4) ZHANG Y(4) BI H(2)
DING G(2) FAN F Y(2) FAN S(2)
GI Y(2) HUANG F(2) LIN T(2)
LV J(2) WEI Y(2) XIE X(2)
公开年 2012(11) 2013(6) 2014(2)
申请年 2012(19)
专利权人 UNIV XIDIAN(5) CHINESE ACAD.(2) CHINESE ACAD.(2) HON HAI PREC.(2)
HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)