国家/地区 中国(11) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(15)
IPC大类 C23(15)
IPC小类 C30B(15)
IPC C30B029/02(9) C23C016/26(8) C30B025/18(7)
H01L021/02(5) C01B032/186(4) C23C016/02(4)
C23C014/35(3) C30B025/00(3) C30B029/40(3)
C01B032/194(2) C23C014/06(2) C23C014/16(2)
C23C016/01(2) C23C016/34(2) C23C016/40(2)
发明人 WANG B(2)
公开年 2022(13) 2023(2)
申请年 2022(15)
专利权人