国家/地区 | 中国(6) 美国(2) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C23(7)![]() |
IPC小类 |
C23C(7)![]() |
IPC |
C23C016/26(2)
C23C016/44(2)
C30B015/00(2)
C30B029/02(2) C30B029/40(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2021(7)![]() |
申请年 |
2021(7)![]() |
专利权人 |
SHI Z, ZHANG C, ZHU H, WU T, GAO B
ZHAO J, HU C, HU C Q, ZHAO J H