国家/地区 中国(6) 美国(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7)
IPC C23C016/26(2) C23C016/44(2) C30B015/00(2)
C30B029/02(2) C30B029/40(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(7)
申请年 2021(7)
专利权人