国家/地区 中国(92)
IPC部 C(92)
IPC大类 C23(92)
IPC小类 C30B(92)
IPC C23C016/26(50) C30B029/02(48) C30B025/18(38)
C23C016/02(20) C01B031/04(17) B82Y040/00(16)
H01L021/02(15) C30B025/00(14) B82Y030/00(13)
C01B032/186(11) C23C016/56(11) C30B029/40(11)
C01B031/02(10) C23C014/06(10) C23C014/35(10)
发明人 ZHANG Y(10) WANG H(7) WANG D(6)
ZHANG J(6) CHEN Z(5) HAO Y(5)
LEI T(5) XIE X(5) ZHANG K(5)
DENG P(4) GUO H(4) LI C(4)
LI X(4) NING J(4) BI H(3)
公开年 2022(15) 2012(14) 2021(10) 2016(8) 2013(7) 2015(6) 2017(6) 2023(6) 2011(5) 2018(5) 2020(5) 2014(4)
申请年 2021(14)  2012(13)  2022(11)  2016(9)  2020(8)  2013(7)  2011(6)  2014(6)  2017(5)  2015(4)  2009(2)  2018(2)  2019(2)  2023(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(9) UNIV XIDIAN(9) UNIV PEKING(4) CHINESE ACAD.(3)
CHINESE ACAD.(3) GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3)
UNIV TSINGHU.(3) CHANGZHOU ER.(2) CHINESE ACAD.(2) CHONGQING GR.(2)
DING G(2) HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) INST SEMICON.(2)
PENG P(2) UNIV BEIJING.(2) UNIV HENAN(2) UNIV NAT DEF.(2)