国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C23C016/26(3) C30B025/18(3) C01B031/04(2)
C23C016/01(2) C23C028/00(2) C30B029/02(2)
发明人
公开年 2015(3) 2014(2)
申请年 2014(6)
专利权人