国家/地区 |
中国(9)![]() |
IPC部 |
C(9)![]() |
IPC大类 |
C23(9)![]() |
IPC小类 |
C23C(9)![]() |
IPC |
C30B025/18(7)
C23C016/26(6)
C30B029/02(6)
H01L021/02(3) C01B032/186(2) C23C014/06(2) C23C014/34(2) C23C016/01(2) C23C016/02(2) C23C016/32(2) C23C016/34(2) C23C028/00(2) C30B025/02(2) C30B029/36(2) |
发明人 | |
公开年 | 2016(6) 2017(3) |
申请年 |
2016(9)![]() |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
FU L, GU J, PANG A, ZHANG X
CHEN X, XU X, ZHAG F, ZHAO X, ZHANG F
LI Y, SONG Y, WANG S, ZHANG Z, ZHANG L
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z