国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(9)
IPC小类 C23C(9)
IPC C30B025/18(7) C23C016/26(6) C30B029/02(6)
H01L021/02(3) C01B032/186(2) C23C014/06(2)
C23C014/34(2) C23C016/01(2) C23C016/02(2)
C23C016/32(2) C23C016/34(2) C23C028/00(2)
C30B025/02(2) C30B029/36(2)
发明人
公开年 2016(6) 2017(3)
申请年 2016(9)
专利权人