国家/地区 中国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8)
IPC小类 C23C(8)
IPC C30B025/18(7) C23C016/26(6) C30B029/02(4)
C23C014/06(2) C23C014/34(2) C23C016/02(2)
C23C028/00(2) H01L021/02(2)
发明人 ZHANG X(2) ZHANG Z(2)
公开年 2016(8)
申请年 2016(6) 
专利权人