国家/地区 |
中国(8)![]() |
IPC部 |
C(8)![]() |
IPC大类 |
C23(8)![]() |
IPC小类 |
C23C(8)![]() |
IPC |
C30B025/18(7)
C23C016/26(6)
C30B029/02(4)
C23C014/06(2) C23C014/34(2) C23C016/02(2) C23C028/00(2) H01L021/02(2) |
发明人 | ZHANG X(2) ZHANG Z(2) |
公开年 |
2016(8)![]() |
申请年 | 2016(6) |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
FU L, GU J, PANG A, ZHANG X
CHEN X, XU X, ZHAG F, ZHAO X, ZHANG F
LI Y, SONG Y, WANG S, ZHANG Z, ZHANG L
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z