国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(5) B82Y030/00(4)
B82Y040/00(4) C30B025/18(3) C30B029/02(3)
C01B031/02(2) C01B032/186(2) C23C016/02(2)
C23C016/56(2)
发明人
公开年 2013(4)
申请年 2013(6)
专利权人