国家/地区 中国(13) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(14)
IPC大类 C30(14)
IPC小类 C30B(14)
IPC C30B029/02(7) C30B025/18(6) C30B025/02(3)
C01B031/04(2) C23C016/26(2) H01L021/20(2)
发明人 LI L(3) CHEN X(2) SUN L(2)
XU X(2) ZHANG Z(2) ZHAO X(2)
公开年 2015(14)
申请年 2015(14)
专利权人 SHANGHAI INS.(2) UNIV PEKING(2) UNIV SHANDON.(2)