国家/地区 英国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C01B032/186(6) C23C016/26(6) C30B025/18(6)
H01L021/02(5) C23C016/02(4) C30B029/02(4)
B82Y030/00(2) C01B031/02(2) C01B031/04(2)
C01B032/182(2) C23C016/455(2) H01L021/20(2)
H01L029/16(2)
发明人 DIXON S(3) GUINEY I(3) THOMAS S(2)
公开年 2013(2) 2022(2)
申请年 2021(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(3)