国家/地区 中国(319)
IPC部 C(319)
IPC大类 C30(319) C23(92) H01(85)
C01(83) B82(33) B32(11)
C09(10) C25(9) B01(8)
C04(7) C22(6) H05(6)
C08(4) B05(3) B22(3)
IPC小类 C30B(319)
IPC C30B029/02(171) C30B025/18(109) C23C016/26(50)
C30B025/00(44) C30B029/40(37) H01L021/02(37)
C01B031/04(35) C30B025/02(34) B82Y040/00(30)
C30B029/64(27) C01B031/02(24) B82Y030/00(23)
C30B025/16(21) C23C016/02(20) C01B032/186(19)
发明人 ZHANG Y(27) ZHANG J(24) XU X(18)
LI X(16) WANG D(16) WANG Y(16)
ZHANG Z(16) CHEN X(15) LIU Z(14)
HAO Y(13) SUN L(13) LI Y(12)
GUO H(11) NING J(11) WANG H(11)
公开年 2022(49) 2021(45) 2012(28) 2015(24) 2016(24) 2013(21) 2014(21) 2023(21) 2017(20) 2020(17) 2018(16) 2011(14) 2019(12) 2009(4) 2010(2)
申请年 2021(57)  2022(38)  2012(30)  2016(26)  2020(25)  2013(24)  2015(21)  2011(19)  2014(18)  2018(15)  2019(15)  2017(14)  2009(6)  2010(4)  2023(4)  2008(2) 
专利权人 UNIV XIDIAN(24) UNIV PEKING(22) SHANGHAI INS.(17) UNIV SHANDON.(11)
CHINESE ACAD.(8) BEIJING GRAP.(5) UNIV CHINA E.(5) CHINESE ACAD.(4)
INST SEMICON.(4) UNIV SHAANXI.(4) UNIV TSINGHU.(4) UNIV WUHAN T.(4)
CHINESE ACAD.(3) CHINESE ACAD.(3) CHINESE ACAD.(3) GUARDIAN GLA.(3)
GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3) HANGZHOU GEL.(3) HARBIN INST .(3)