国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C25(9)
IPC小类 C30B(9)
IPC C30B029/02(9) C30B025/18(5) C01B031/04(3)
C23C016/26(3) C25F003/22(3) C01B031/02(2)
C23C016/02(2) C23C028/00(2) C25D001/20(2)
C25D003/38(2) C25D005/50(2) C25D005/54(2)
C30B029/64(2) C30B033/00(2) H01L021/02(2)
发明人 DING Z(2) HE M(2) HUANG Z(2)
WANG E(2) YUE X(2) ZHANG J(2)
ZHANG Z(2)
公开年 2016(2) 2020(2)
申请年 2021(2) 
专利权人 SONGSHAN LAK.(2) ZHONGKE JING.(2)